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          1. 什么是派瑞林?

            它是一種透明無色的聚酯保護材料。 適用于室溫下的真空鍍膜,真空鍍膜壓力在10-5托以下,而派瑞林鍍膜工藝在0.1托左右。 涂層的厚度可控制在1-100微米之間,該涂層是美國在60年代初開發的專利,首次應用于美國軍用印刷電路板、航空航天和水下發射裝置的微電子元件領域,1972年被納入美國軍用標準:

            MIL-I-46058C


            微納米加工技術:化學氣相沉積工藝(CVD)

            將粉末狀的納米原料放入真空納米涂層設備的蒸發室,通過150℃-180℃的溫度蒸發為氣態分子,在真空(1.0*10-2torr)作用下氣態的10nm以下納米分子進入到裂解室,在裂解室680℃-700℃的高溫裂解為具有反應活性的單體,活性單體與單體之間重新聚合,形成一層致密無針孔的納米膜層。

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